田口電機工業株式会社は最新の表面処理技術を専門とする『めっきのデパート』です。

LIGA微細精密加工（Lithograph Galvanoformung und Abformung）

　導電性を付与したベースにフォトレジストを100〜500μm塗布し、微細パターンを描画したフォトマスクをセットして、その上からUV紫外光やシンクロトロン光エックス線を照射して、エッチング現像して出来た1:20以上の高アスペクト・レジスト構造体に電鋳めっき加工を行います。
　めっきがレジスト上部まで100〜500μm厚付けした後めっきを止めて、残ったレジスト構造体を専用溶剤でエッチング溶解するとベースにめっきが乗ったものができあがります。
　これをそのまま金型としてナノ微粉体（セラミックス、樹脂）を成形するとナノ部品が完成します。
フォトマスクを反転させたもので製作すると、できあがるのは微細な歯車であるマイクロパーツが完成し、これらをマイクロマシンやMEMSの構成部品として使用することが出来ます。
　このように、めっきというローテクの技術とリソグラフィの光の技術が融合し、最先端の微細加工技術として今後のナノテクノロジーを支える重要な部品やメカニカルな機構の研究開発を行っています。
　将来、医療分野をはじめ、半導体や自動車、ＩＴやウエアラブルツールなどのあらゆる産業に幅広く活用されるナノテクの技術を世界に先駆けて発信していきたいと考えています。


　

新技術試作品

研究開発グループによって製作した直径0.1ミリの超微小歯車やナノ部品・ナノ金型

直径0.1〜0.5ミリ極小歯車　　　医療用高解像度Ｘ線グリッド　　　　　　マイクロメッシュ

φ0.5mmマイクロモールド金型　　　　　10μm線幅マイクロコネクター　　　　　　10μm線幅マイクロコネクター

　

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ナノテク研究開発部門

・ナノテクノロジー関連（MEMS、ナノインプリント、エレクトロフォーミング、超微粉体めっき）
・LIGA微細加工技術（マイクロパーツ、ナノパーツ、マイクロ金型、ナノ金型などの製造）
　大型電子顕微鏡(SEM EDX)、エネルギー分散型Ｘ線元素分析装置、レーザー顕微鏡

　

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